Microscope à balayage électronique à émission de champ

Entente sur le commerce : AECG/OMC-AMP/PTPGP/ALEC/ALEs avec Pérou/Colombie/Panama/Corée/R-U
Processus de demande des soumissions : Habituellement, une seule entreprise est invitée à soumissionner
Stratégie d'approvisionnement non concurrentielle : Droits exclusifs
Entente sur les revendications territoriales globales : Non
Nom et adresse du fournisseur : 
Carl Zeiss Canada Ltd
45 Valleybrook Drive
Toronto Ontario
Canada
M3B2S6
Nature des besoins : 

Microscope à balayage électronique à émission de champ 

31184-226307/A
Golab,  Lisa
Telephone No. - (343) 574-2635 

1. Préavis d’adjudication de contrat

Un PAC est un avis public informant la collectivité des fournisseurs qu’un ministère ou organisme a l’intention d’attribuer un contrat pour des biens, des services ou des travaux de construction à un fournisseur sélectionné à l’avance, ce qui permet aux autres fournisseurs de signaler leur intérêt à soumissionner en présentant un énoncé des capacités. Si aucun fournisseur ne présente un énoncé des capacités qui satisfait aux exigences établies dans le PAC, au plus tard à la date de clôture indiquée dans le PAC, l’agent de négociation des contrats peut procéder à l’attribution du contrat au fournisseur sélectionné à l’avance.

2. Définition des besoins 

Le Conseil national de recherches du Canada (CNRC) a besoin d’un microscope à balayage électronique à émission de champ, y compris toute la formation, la mise en service, le matériel et les logiciels, les accessoires et les périphériques, le câblage et les composants, ainsi qu’une garantie d’un an incluant les services de maintenance et de soutien. Dans le cadre du réinvestissement des installations de fabrication, le CNRC a besoin du microscope à balayage électronique à émission de champ GeminiSEM 560 (FESEM) pour faciliter la capacité d’inspection nécessaire et les capacités requises pour appuyer les opérations changeantes de notre fonderie de semi-conducteurs à quarts multiples.

3. Critères d’évaluation de l’énoncé des capacités (Exigences essentielles minimales) 

Tout fournisseur intéressé doit démontrer au moyen d’un énoncé des capacités que son produit/matériel/système (selon le cas) satisfait aux exigences suivantes :

1. Microscope à balayage électronique à émission de champ (FESEM)

- L’instrument doit être doté d’une colonne et d’une chambre qui doivent reposer sur un système antivibratoire ultra-précis, pneumatique, à pendule autonivelant, dont les dimensions ne dépassent pas 0,84 m x 1,2 m.

- L’instrument doit offrir une certaine souplesse pour permettre à la fois un travail à haute résolution et la possibilité d’imager une large gamme d’échantillons différents, notamment des matériaux isolants, qui nécessitent une imagerie à pression variable, et des matériaux magnétiques ou magnétisables.

- L’instrument doit avoir une résolution de 0,5 nm à 15 kV, 0,8 nm à 1 kV et 1,0 nm à 500 V, en mode à vide poussé. La résolution doit être atteinte sans polarisation de l’échantillon afin de permettre l’imagerie haute résolution d’échantillons ou de géométries d’échantillons, qui ne peuvent être utilisés avec une polarisation de l’échantillon.

- L’instrument doit permettre d’obtenir des énergies de faisceau d’imagerie jusqu’à 20 V sans polarisation de l’échantillon.

- L’instrument doit avoir une résolution d’au moins 0,7 nm à 1 kV avec une polarisation appliquée à l’échantillon.

- L’instrument doit avoir une résolution de 1,4 nm à 3 kV et 1,0 nm à 15 kV à 30 Pa en mode à pression variable.

- L’instrument doit avoir un champ de vision maximal de :
        - 1,6 mm à 1 kV et une distance de travail de 7 mm en mode haute résolution;
 - 5,6 mm à 15 kV et une distance de travail de 8,5 mm en mode de vue d’ensemble; 
        - 130 mm au maximum (ca. 50 mm) et distance de travail de 8,5 mm en mode de vue d’ensemble.

- L’instrument doit avoir une plage de tension réglable (AV) de 0,02 kV à 30 kV, variable par incréments de 10 V pour régler la tension réglable à toute valeur requise pour les diverses applications, et la précision du réglage de la tension doit être de +/- 10 V.

- L’instrument doit avoir un courant stable très élevé pour permettre des mesures à long terme de rayons X à dispersion d’énergie (EDX), de rayons X dispersifs en longueur d’onde (WDX) et de diffraction des électrons rétrodiffusés (EBSD), avec un courant de faisceau pouvant atteindre 20 nA. La stabilité du courant ne doit pas varier de plus de 0,2 % par heure.

- L’instrument doit offrir l’option de pression variable (VP) pour réduire l’effet de charge des matériaux isolants. La plage de pression variable doit être comprise entre 10 Pa et 60 Pa, réglable par incréments de 1 Pa.

- L’instrument doit résoudre les emplacements des arrêts de diffusion et les lignes des puits quantiques multiples (MQW) sans délimitation sur la même mesure.

- L’instrument doit comprendre un système d’émission qui doit être un émetteur à émission de champ Schottky (thermionique) pour obtenir une haute luminosité, une faible diffusion d’énergie combinée à la capacité de produire des courants de sonde élevés. Le courant de sonde maximal doit être de 20 nA.

- Le système d’émission doit comprendre une procédure de mise en marche automatique de l’émetteur pour assurer une mise en marche contrôlée et sûre des conditions de l’émetteur cible pour la longévité de l’émetteur.

- Le système d’émission doit être protégé contre les courants élevés et comporter un dispositif d’arrêt automatique pour éviter les surcharges.

- Le système d’émission doit avoir un courant de faisceau dans des conditions d’imagerie à haute résolution (1 kV, résolution de 0,8 nm) de plus de 20 pA.

- L’instrument doit être équipé d’une lentille magnétique haute performance avec une lentille électrostatique insérée pour diminuer les aberrations sphériques et chromatiques avec une tension réglable (AV) décroissante.

- La lentille d’objectif de l’instrument doit fournir un champ magnétique réduit à la surface de l’échantillon. L’imagerie à résolution inférieure à 4 nm d’échantillons diamagnétiques, paramagnétiques ou ferromagnétiques doit être possible même à des distances de travail inférieures à 2 mm et à une faible tension réglable (AV).

- L’instrument doit permettre l’imagerie haute résolution de l’acier ferromagnétique à une distance de travail (WD) = 3 mm. Une tension réglable (AV) = 1 kV à 100.000x Mag doit être possible.

- La lentille d’objectif doit avoir une lentille finale conique d’au moins 80° pour permettre une inclinaison de 50° des grands spécimens à une distance de travail de 6 mm. La distance de travail analytique pour l’analyse EDX avec un angle d’attaque de 35° doit être de 8,5 mm.

- Imagerie avec détecteur d’électrons rétrodiffusés (BSE) qui doit être possible simultanément avec l’EDX à une distance de travail (WD) de 8,5 mm.

- La conception de la lentille de l’instrument doit permettre d’observer de grands champs de vision. La plage Mag doit être comprise entre 1*x et 2.000.000x pour l’imagerie par électrons diffusés (SE) et pour l’imagerie par électrons rétrodiffusés (BSE) (*en mode de vue d’ensemble pour la sélection de la zone d’intérêt).

- Le trajet du faisceau d’instruments doit être exempt de croisements afin de minimiser les interactions coulombiennes statistiques (effet Boersch) entre les électrons du faisceau.

- L’instrument doit disposer d’un suramplificateur de faisceau à l’intérieur de la colonne optique électronique pour maintenir une énergie élevée dans toute la colonne. Le suramplificateur de faisceau doit assurer la protection du faisceau contre les champs parasites, même lorsque l’instrument fonctionne à très basse tension.

- L’instrument doit comporter un changeur d’ouverture électromagnétique à 7 orifices intégré à proximité du système émetteur.

- L’instrument doit toujours être réglé automatiquement sur la meilleure résolution avec l’ouverture standard (c’est-à-dire 20 µm). Aucune adaptation d’ouverture ponctuelle ne sera nécessaire à aucune tension réglable (AV).

- Aucune limitation de la qualité de l’image ne peut survenir si un obturateur de faisceau est monté dans la colonne.

- L’instrument doit comporter une colonne compacte avec un blindage Mu-métal intégré pour limiter la sensibilité aux champs statiques et pour réduire la sensibilité aux vibrations.

- La colonne doit être équipée d’un système de détection de l’énergie rétrodiffusée sélective (EsB) à haute efficacité dans la colonne, avec une grille de filtrage pour la détection des électrons rétrodiffusés en énergie.

- Le détecteur dans la lentille, annulaire et à haut rendement, de l’instrument doit être intégré dans le suramplificateur de faisceau situé au-dessus de la lentille d’objectif. Le matériau de détection ne doit jamais présenter d’effet de vieillissement. Ce détecteur doit offrir la meilleure résolution ES. Le temps d’acquisition d’une image sans bruit doit être inférieur à 1 seconde.

- Un détecteur latéral Everhart-Thornley ES monté sur la chambre d’échantillons doit être fourni.

- Le mélange de différents signaux doit être possible à n’importe quel rapport. Une détection en parallèle dans la lentille EsB et une détection dans la lentille ES, ainsi qu’une détection en parallèle dans la lentille ES et une détection ES dans la chambre à l’aide d’un détecteur Everhart-Thornley sont nécessaires.

- L’instrument doit être équipé d’une caméra couleur à dispositif à couplage de charge (CCD) avec éclairage pour permettre une vue d’ensemble de la chambre interne. L’instrument doit permettre le montage d’une deuxième caméra CCD.

- Le système de détection doit étudier des échantillons non conducteurs sans effets de charge, et sans préparation préalable de l’échantillon. Le système doit permettre l’utilisation de 4 détecteurs ES ou BSE différents sans aucune restriction de performance lors de l’examen d’échantillons non conducteurs. 

- L’instrument doit être muni d’une chambre qui doit permettre l’acquisition simultanée de tous les détecteurs sans refocalisation.

- La conception de la chambre pour l’analyse doit permettre à tous les détecteurs (EXD, WDX, EBSD) d’être focalisés sur une courte distance de travail (WD) permettant une acquisition simultanée à une excellente résolution spatiale. La distance de travail (WD) pour l’analyse doit être de 8,5 mm.

- La conception de la chambre pour l’analyse doit permettre de configurer deux détecteurs EDX coplanaires diamétralement opposés.

- La chambre doit comporter au moins 12 orifices. Trois orifices pour les analyses (EDX, WDX). Les autres orifices doivent être un détecteur d’électrons rétrodiffusés (BS), un détecteur cathodoluminescent (CL), un sas ou un EBSD, et un orifice EDX qui doit être au-dessus de l’orifice EBSD et orthogonal par rapport à l’axe d’inclinaison.

- La chambre doit comporter deux orifices supplémentaires au niveau de la porte de la platine. 

- La chambre doit permettre le chargement des plaquettes par l’opérateur via le sas de chargement.

- La chambre doit permettre le chargement direct des plaquettes par l’opérateur.

- Lorsque le chargement de la chambre est utilisé par l’opérateur, le délai visé pour vider la chambre doit être de 2 minutes, mais ne doit pas dépasser 5 minutes.

- L’instrument doit disposer d’une platine de haute précision entièrement motorisée, permettant des mouvements de X = 130 mm, Y = 130 mm, Z - 50 mm, T = -4° à 70°, et R = 360°.

- L’instrument doit permettre de charger des échantillons d’un diamètre maximal de 179 mm et de déplacer l’échantillon dans toutes les plages de déplacement X et Y mentionnées ci-dessus.

- La platine doit avoir une conception eucentrique et est contrôlée par une interface à deux leviers de commande.

- La conception de la platine doit permettre le montage d’accessoires, y compris, mais sans s’y limiter, le dispositif de refroidissement Peltier et le module de traction.

- L’instrument doit être équipé d’un système de balayage qui doit offrir une précision de balayage de 16 bits et une grande capacité de stockage d’images jusqu’à 32k x 24k. La vitesse de balayage maximale doit être de 25 ns/pixel.

- L’instrument doit être équipé d’un module de courant élevé/profondeur de champ (HC/DoF), fournissant un éclairage à faisceau parallèle et une correction automatique de l’inclinaison.

- Une exigence de l’application EBSD doit permettre l’absence de distorsion visible à 70°, sans nécessiter de mise au point dynamique.

- L’instrument doit être équipé d’un système de vide contrôlé entièrement automatique.

- Le vide de la chambre doit être assuré par une pompe turbo moléculaire de 250 litres par seconde.

- L’instrument doit avoir un vide poussé dans la chambre qui doit être meilleur que 2,0 x 10 6 mbar.

- Le système de vide doit disposer d’un menu permettant d’afficher les mesures de vide poussé et peu poussé.

- L’instrument doit être équipé d’un accessoire de système de transfert de spécimen qui doit fonctionner en mode de vide peu poussé.

- L’instrument doit être contrôlé par une interface utilisateur graphique (IUG). Un choix d’IUG intuitives et concises doit être proposé aux utilisateurs expérimentés et novices, avec un contrôle par l’administrateur. L’IUG doit être conçue pour un environnement multi-utilisateurs et personnalisable. Un éditeur de macro permettant d’accéder à 250 fonctions de contrôle de l’instrument doit être fourni. 

- Le logiciel doit permettre une capacité d’annotation configurable par l’utilisateur sur toutes les images. Le logiciel doit également permettre la saisie libre du texte de l’utilisateur avec n’importe quelle police, et à n’importe quel endroit de l’image. Le logiciel doit disposer des polices et des tailles d’exploitation de Microsoft Windows. Tous les textes, polices, couleurs, styles et fonds doivent pouvoir être choisis librement et individuellement.

- Le logiciel doit permettre le transfert direct des images, et la mesure sans aucun recalcul ou analyse hors ligne.

- Le logiciel doit permettre des mesures standard de la longueur et doit avoir une précision de +/  3% à une distance de travail (WD) de 3 mm.

- Le logiciel doit fournir une interface pour les scripts Python avec des flux de travail personnalisables.

- L’instrument doit être contrôlé par un ordinateur de haut niveau doté d’un processeur 64 bits, fonctionnant avec Windows 10 LTSC et doté d’une interface utilisateur graphique (IUG) souple et intuitive. Les communications externes et la mise en réseau doivent être fournies de manière standard. 

4. Applicabilité des accords commerciaux à l’achat 

Le présent achat est assujetti aux accords commerciaux suivants :

o Accord de libre-échange canadien (ALEC)
o Accord sur les marchés publics de l’Organisation mondiale du commerce (AMP-OMC)
o Accord économique et commercial global entre le Canada et l’Union européenne (AECG)
o Accord de Partenariat transpacifique global et progressiste (PTPGP)
o Accord de continuité commerciale Canada-Royaume-Uni (ACC Canada-Royaume-Uni)
o Accord de libre-échange entre le Canada et le Chili (ALECC)
o Accord de libre-échange Canada-Colombie
o Accord de libre-échange Canada-Honduras
o Accord de libre-échange Canada-Corée
o Accord de libre-échange Canada-Panama
o Accord de libre-échange Canada-Pérou (ALECP)
o Accord de libre-échange Canada-Ukraine (ALECU)

5. Justification du recours à un fournisseur sélectionné à l’avance 

Le Gemini Inspection SEM 560 est le seul instrument connu qui satisfait à toutes les exigences essentielles minimales énoncées à la partie 3 ci-dessus. Carl Zeiss Canada Ltd. est le fabricant d’équipement d’origine (FEO) de l’instrument et aucun autre fournisseur connu ne peut fournir d’instrument répondant à toutes les exigences essentielles minimales énumérées à la partie 3 ci-dessus.

6. Exception(s) au Règlement sur les marchés de l’État 

L’exception suivante au Règlement sur les marchés de l’État est invoquée pour cet achat : paragraphe 6d) - « une seule personne est capable d’exécuter le marché ». 

7. Exclusions et/ou raisons justifiant le recours à l’appel d’offres limité 

Les exclusions et/ou les raisons justifiant le recours à un appel d’offres limité suivantes sont invoquées en vertu des accords commercial aux précisés :

Accord de libre-échange canadien (ALEC) - article 513.1(b)(iii);
Accord sur les marchés publics de l’Organisation mondiale du commerce (AMP-OMC) - article XIII 1(b)(iii);
Accord économique et commercial global entre le Canada et l’Union européenne (AECG) - article 19.12.1(b)(iii);
Accord de Partenariat transpacifique global et progressiste (PTPGP) - article 15.10.2(b)(iii);
Accord de continuité commerciale Canada-Royaume-Uni (ACC Canada-Royaume-Uni) - reporter à AECG article 19.12.1(b)(iii);
Accord de libre-échange entre le Canada et le Chili (ALECC) - article Kbis-09.1(b);
Accord de libre-échange Canada-Colombie - article 1409.1(b)(iii);
Accord de libre-échange Canada-Honduras - article 17.11.2 (b)(iii);
Accord de libre-échange Canada-Corée - reporter à AMP-OMC article XIII 1(b)(iii);
Accord de libre-échange Canada-Panama - article 16.10.1(b)(iii);
Canada-Pérou (ALECP) - article 16.10.1(b)(iii); et
Accord de libre-échange Canada-Ukraine (ALECU) - article 16.10.1(b)(iii).

8. Période du contrat proposé ou date de livraison 

L’instrument doit être livré et installé au plus tard 8 mois après l’attribution du contrat.

9. Nom et adresse du fournisseur sélectionné à l’avance 

Carl Zeiss Canada Ltd.
45 Valleybrook Dr.
Toronto, Ontario Canada M3B 2S6

10. Droit des fournisseurs de présenter un énoncé des capacités. 

Les fournisseurs qui estiment être pleinement qualifiés et prêts à fournir les biens, les services ou des services de construction décrits dans ce PAC peuvent présenter par écrit un énoncé des capacités à la personne-ressource dont le nom figure dans cet avis d’ici la date de clôture, laquelle est aussi précisée dans cet avis. L’énoncé de capacités doit clairement démontrer que le fournisseur satisfait aux exigences publiées. 

11. Date de clôture pour la présentation des énoncés des capacités 

La date et l’heure de clôture pour l’acceptation d’énoncés des capacités sont 5 mai 2022 à 14 h [HNE].

12. Demande de renseignements et présentation des énoncés des capacités 

Les demandes de renseignements et les énoncés des capacités doivent être présentés à : 

Lisa Golab
Spécialiste en approvisionnement 
Services publics et Approvisionnement Canada
Téléphone : 343-574-2635
Courriel : lisa.golab@tpsgc-pwgsc.gc.ca


Date de livraison : Indiquée ci-dessus

L'État fait savoir par la présente qu'il a l'intention de n'inviter à soumissionner que l'entreprise susmentionnée et de ne négocier qu'avec elle.  Pour de plus amples renseignements concernant ce marché, communiquer avec l'agent de négociation des marchés dont le nom est indiqué ci-dessus.

Un préavis d’adjudication de contrat (PAC) permet aux ministères et aux organismes de publier un avis, pendant un minimum de quinze (15) jours civils, pour informer la collectivité des fournisseurs de leur intention de passer un marché pour un bien, un service ou des travaux de construction à un fournisseur sélectionné d’avance. Si pendant la période d’affichage, aucun fournisseur ne présente d’énoncé de compétences répondant aux exigences précisées dans le PAC, l’agent de négociation des marchés pourra alors procéder à l’attribution du marché. S'il est jugé, toutefois, qu'un énoncé de compétences répond aux exigences précisées dans le PAC, l'agent de négociation des marchés doit lancer le processus complet d'appel d'offres.

Les fournisseurs qui estiment être pleinement qualifiés et prêts à fournir les produits ou les services décrits dans cet avis peuvent présenter un énoncé de compétences à la personne-ressource dont le nom figure dans le présent avis d'ici la date de clôture, laquelle est aussi précisée dans l'avis. L'énoncé de compétences doit démontrer clairement la façon dont le fournisseur compte s'y prendre pour répondre aux exigences indiquées dans le préavis.

Le numéro de dossier de TPSGC, le nom de l'agent de négociation des marchés et la date de clôture du préavis d'adjudication de contrat (PAC) doivent figurer en lettres moulées sur l'enveloppe, ou sur la feuille d'accompagnement, s'il s'agit d'un envoi par télécopieur.

L'État se réserve le droit de négocier les conditions de tout marché avec les fournisseurs.

Les documents peuvent être présentés dans l'une ou l'autre des langues officielles du Canada.